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簡述高純笑氣的特點及作用

發(fā)布時間:2021-07-26來源:洛陽華普高純氣體點擊:4683

  簡述高純笑氣的特點及作用

  高純笑氣在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。笑氣在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。

高純笑氣

  顯像管制造中要求笑氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統(tǒng)需要先用高純笑氣置換,再用高純氦置換。笑氣是難液化的氣體,在很低溫下會液化成無色液體,進一步降低溫度時,更會形成白色晶狀固體。在生產(chǎn)中,通常采用黑色鋼瓶盛放。

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